晶振片基本知識(shí)

1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圓圓的晶振片，來(lái)源于多面體石英棒，先被切成閃閃發(fā)光的六面體棒，再經(jīng)過反復(fù)的切割和研磨，石英棒最終被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，直徑13.98mm）圓片，每個(gè)圓片經(jīng)切邊，拋光和清洗，最后鍍上金屬電極（正面全鍍，背面鍍上鑰匙孔形），經(jīng)過檢測(cè)，包裝就可以出廠使用。晶體的質(zhì)量和壽命不僅影響速率和厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性，更重要的是還決定著受控制的過程能否成功完成。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作原理

石英晶體若在晶片的兩側(cè)施加機(jī)械壓力，則在晶片相應(yīng)的方向上將產(chǎn)生電場(chǎng)，這種物理現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。如果在晶片的兩極上加交變電壓，晶片就會(huì)產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)，同時(shí)晶片的機(jī)械振動(dòng)又會(huì)產(chǎn)生交變電場(chǎng)。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分類

現(xiàn)在市場(chǎng)上常用的有兩種頻點(diǎn)，標(biāo)稱頻率分別為5.000MHz、6.000MHz，根據(jù)膜厚控制儀的探頭設(shè)計(jì)不同，采用不同的電極形狀。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的應(yīng)用

石英晶振片是晶振膜厚控制儀系統(tǒng)中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控器或控制器以及單、雙或多晶體傳感器的真空應(yīng)用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的電極材料

晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要，目前市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料：金、銀和合金。 用戶所鍍的材料不同，需選用不同的電極材料產(chǎn)品。

金：是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)穩(wěn)定性，易于沉積。適合于鍍低應(yīng)力膜料，如鍍Al Au Ag Cu。

銀：適合于鍍高應(yīng)力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。

銀鋁合金：適合于鍍介質(zhì)光學(xué)膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚監(jiān)控原理

石英晶體法監(jiān)控膜厚，主要是利用了石英晶體的壓電效應(yīng)和質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng)。當(dāng)晶振片上鍍了某種膜層，使晶振片的厚度增加，則晶振片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的變化。

晶體的基頻越高，控制的靈敏度也越高，但基頻過高時(shí)，晶體片會(huì)做得很薄，很薄的晶體片易碎，一般選用AT切型頻率5～10MHz。采用AT切晶體片，其振動(dòng)頻率對(duì)質(zhì)量的變化極其靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、銀或銀鋁合金溶于各種酸，不適合再處理利用，必需徹底除去晶振片上的膜層和電極，重新寄回我司鍍上電極。

2、金不溶于硫酸，用戶可以自已進(jìn)行處理，去掉晶振片上膜層，清洗干凈再利用，但重復(fù)利用次數(shù)不易太多，否則質(zhì)量穩(wěn)定性降低影響使用。

8.晶振片清洗配方: 

20%氟化氫銨水溶液，浸泡6小時(shí)以上，浸泡后投入酒精擦拭，去水即可。